萧道成还镇东府，自封太尉，督管南、徐等十六州军事。并任命长子萧赜为江州刺史，二子萧嶷为中领军兼尚书左仆射；命王僧虔为尚书令，右仆射王延之为左仆射，柳世隆为右仆射，卫将军褚渊为中书监司空。平西将军黄回没有得到任何加封，萧道成将他召回东府，历数罪状后，把他送到阎王那儿去了。
叛乱初定，萧道成开始为自己的大业发愁。太尉右长史王俭窥破他的心思，悄悄对他说：“从古至今，劳苦功高的大臣却没有得到封赏的例子很多。将军有如此大的功劳和威望，难道就甘愿一直北面称臣吗？”萧道成当即喝止他，但脸上却露出了欢快的神色。王俭又说：“承蒙将军的青睐，所以我言人所不敢言，将军不要阻止我，请让我说下去。宋氏失德，要不是将军，他们哪还能坐拥天下？如果将军一再谦让下去，让众人失望，即使有一天觉悟，只怕机会已经溜走了。那时不但无法实现大业，就连身家都保不住呀！”萧道成这才慢慢说道：“你说得有理。”王俭继续出谋划策道：“以将军现在的名望，不能只担当一朝的宰相，应该加礼。眼下满朝文武，只有一个褚公，还能放心与他议事，我愿意先去和他商量。”萧道成阻止道：“不用了，我自己去吧！”
过了两天，萧道成亲自拜访褚渊，寒喧片刻后，切入正题：“我梦见自己得了帝位。”褚渊支吾着说：“现在国内刚刚安定，一二年内将军的事情恐怕还不好办。而且就算有吉梦，也未必会立即应验，还请慎重行事！”萧道成回去后，将原话转告王俭，王俭安慰道：“褚公还没认清局势。将军放心，我一定为你想方设法取得褚公支持。”随即倡议加封萧道成为太傅，令中书舍人起草诏书。萧道成的亲信任遐说：“这样的大事应让褚公知道。”萧道成说：“褚公不愿意，怎么办？”任遐笑道：“褚渊贪生怕死，又没有才能，怕他干什么？我现在就去劝他，不怕他不依！”任遐当即前往褚渊的府第。褚渊起初还犹豫不决，经任遐晓以利害，果真没有异议了。
诏书很快就颁下来了。萧道成被加封为太傅，奉命督管国内外各军，担任扬州牧，可以佩剑上殿，入朝不用参拜等等。萧道成假意推辞一番，才勉强接受一两条。随后，宋主又封萧赜为领军将军，调任萧嶷为江州刺史，任命他的三子萧映为南兖州刺史，四子萧晃为豫州刺史。
不久，宋主刘准册立谢氏为皇后。皇后是原光禄大夫谢庄的孙女，骠骑长史谢朏的侄女。皇后册立后，宋主重提上次的封赏，要加封萧道成，萧道成仍旧不肯接受。第二年正月，宋主晋封江州刺史萧嶷，令他督管荆、湘等八州军事，兼任荆州刺史，调任左仆射王延之为江州刺史。萧道成想将谢朏纳为自己的心腹，于是推举他为左长史，结果谢朏不领情，决心一生只侍奉一主。
萧道成闷闷不乐，改任谢朏为侍中，另外任命王俭为长史。王俭格外效力，又一再劝萧道成不必推辞殊礼。后来，宋主加封萧道成为齐公，晋升他为相国，令他统率百官，辅助处理大小国事，还赐他九锡礼。萧道成谦让一番后，一概接受。自此，萧道有了自己的小朝廷，并封王俭为齐尚书右仆射，兼领吏部。
当时，宣城太守杨运长离职回家，萧道成趁机派人将他勒死。并除掉了阻挠自己好事的临川王刘绰，武陵王刘赞也被他毒死。萧道成召回雍州刺史张敬儿，封他为护军将军，又任命萧长懋为黄门侍郎，令他出任雍州刺史。萧长懋是萧道成的孙子，萧赜的长子。萧赜被任命为南豫州刺史，兼任副相国。随后，宋主晋封萧道成为齐王，又封给他十郡，并赐他种种殊礼。萧道成改称世子萧赜为太子，好把那刘宋四世六十年的皇位轻松夺来。
没过几天，萧道成就逼宋主刘准禅位。可怜十三岁的小皇帝，在位只有三年，便要他宣诏禅让。在那帮狐群狗党的恳请下，阴鸷险狠的萧道成推辞一番，也就不客气了。
第二天行禅位礼，宋主刘准本应亲临，他却畏缩得很，躲在宫中不敢出来。王敬则率兵入宫，准备带走幼主，找了半天，连个影子都没找着。王敬则不禁动怒，大肆咆哮。王太后等人十分惊骇，只好带着身边的宫人四处找寻。不久，幼主被找着，送交到王敬则手上。可怜幼主刘准鼻涕眼泪一大把，瞧着那为他准备的坐轿，好像囚车一样，硬是不肯坐进去。经王敬则一番强逼才勉强坐进去，一行人即将出宫时，刘准止住眼泪问道：“今天就要杀我吗？”王敬则回答说：“没有这事，只不过请你住到别的地方去！”刘准又哭起来：“只愿下辈子不要再生在帝王之家！”太后以及所有婢女、宫监无不哭着送幼主离开。
过了一会儿，刘准又拍着王敬则的手说：“如果我能保住性命，一定会重赏你！”王敬则没有做声。一行人来到朝堂，百官早已经候着，唯独侍中谢朏进入直阁，还没出来。诏使奉命去宣召时，他拒不接旨。诏使大呼道：“侍中有为齐王解下宋主御玺的职责！”谢朏回答道：“齐王自有侍中，哪还需要我去！”说着，便躺下休息。诏使不禁着急了，问道：“侍中是不是身体不舒服？我马上回去通报。”谢朏又说：“我能有什么病？不劳你通报了。”诏使没有办法，只好离去。谢朏待他走后，径直出了东掖门，登车回家。
仆射王俭将宋主的御玺拿走，宋主随后被遣出朝堂，送到东邸，静待新皇的命令。司空褚渊、尚书令王僧虔立即捧着御玺，率领百官赶到齐宫请萧道成即位。萧道成谦让一番，就不再推辞了，随即在南郊即位，祭告天地，改元建元，登坛受贺。褚渊、王僧虔等人率领百官三呼万岁，大拜新皇。
即位礼毕，齐王回宫，颁诏大赦天下。将宋主刘准废黜为汝阴王，王太后为汝阴王太妃，谢皇后为汝阴王妃，撤去陈太妃苍梧王太妃的名号，令她们全部迁到宫外，移居丹阳；并派士兵监管她们，限制她们的自由。宋晋熙王刘燮被降为阴安公，江夏王刘跻被降为沙阳公，随阳王刘翙被降为舞阴公，新兴王刘嵩被降为定襄公，建安王刘禧被降为荔浦公，郡公主被降为县君，县公主被降为乡君。萧道成还撤去所有宋室功臣子孙的袭爵、封国，只留下南康、华容、萍乡三邑的封爵，让他们供奉刘穆之、王弘、何无忌的宗祀。同时，晋封褚渊为司徒，柳世隆为南豫州刺史，陈显达为中护军，王敬则为南兖州刺史，李安民为中领军，其他人如王俭、张敬儿等各被加官晋爵。
褚渊的表弟褚炤先前担任安成太守，现在离任闲居家中。当褚渊捧着御玺去劝齐王即位时，褚炤问褚渊的儿子褚贲说：“司空今天去哪里了？”褚贲回答说：“父亲捧着御玺去齐王府了。”褚炤叹道：“我不知道司空把这户人家的东西送给另一家是什么意思？”等到褚渊升任为司徒，贺客盈门，褚炤又叹道：“唉，家门不幸！如果褚渊做中书郎时就病死了，那么现在我们家应该会出一位名士吧。”褚渊得知褚炤的话后，很是惭愧，于是上奏辞官。萧道成准奏。太子萧颐请示杀掉谢朏，萧道成摇头说：“这人不怕死，我如果杀了他，反而成就了他的名声，不如放他回去，以示我朝的仁厚。”谢朏因此保全性命，辞官回家。
废主刘准徙居丹阳，一天，门外忽然传来马蹄声。卫士以为外面起兵作乱，当即奔入刘准的卧室，将他杀死，然后上奏谎称刘准病死。萧道成不但没有怪罪这些卫士，反而将他们嘉奖一番，只追赐刘准为宋顺帝，将他草草安葬。宋朝自武帝至刘准，共历经四世八个国君，存在了六十年。齐主萧道成一不做二不休，索性把刘宋宗室，如阴安公刘燮等人全部杀害。只有刘遵考的儿子刘澄之因为与褚渊有些交情，才得以幸免。
萧氏建国号为齐，追尊祖考，他本是汉相国萧何的第二十四世子孙，所以以萧何为始祖。萧道成的父亲萧承之是宋朝的右军将军，屡立战功。宋元嘉二十四年，萧承之病故。那时，萧道成刚满十八岁，却已是一表人才，声如洪钟，而且遍体鳞纹，时人将他视为奇人。又有一种传言，说是萧道成的母亲陈氏生下萧道成后，没有奶水。一天夜里，陈氏忽然梦见有个神人拿着两碗粥，嘱令她喝下。粥刚喝完，陈氏便醒来了，她惊奇地发现自己竟然有奶水了。萧道成有两个兄弟，一个叫萧道度，一个叫萧道生。一天有个会看相的人对陈氏说：“夫人应该生有贵子，只可惜你无法等到孩子飞黄腾达的那一天。”陈氏叹道：“我有三个儿子，不知哪一个有福相？”看相的人指着萧道成说：“这孩子将来必成大器！”自从萧道成的父亲去世后，家里的生计全靠陈氏操劳。萧道成做建康令后，虽然仍没有多少闲钱，但他总是将母亲的饭食置办得很丰盛。陈氏却经常撤去过多的菜式，只留下一盘，对萧道成说：“居家过日子，务宜勤俭，我儿给我一盘肉，我便知足了。”不久，陈氏去世。
萧道成受禅后，追尊父亲萧承之为宣皇帝，母亲陈氏为孝皇后；分别追封已故的两个兄弟为衡阳王和始安王，追立已故妻子为皇后；将长子萧赜立为皇储，封二子萧嶷为豫章王，三子萧映为临川王，四子萧晃为长沙王，五子萧晔为武陵王，六子萧暠为安成王，七子萧锵为鄱阳王，八子萧铄为桂阳王，十子萧鉴为广陵王，十一子萧钧为衡阳王，皇长孙萧懋为南郡王。九子早夭，因而没有得到封邑。萧道成于是安国定邦，又有一番兴盛气象。
突然传来北魏梁郡王拓跋嘉拥戴丹阳王刘昶，并且南侵寿阳的消息，齐主萧道成泰然自若道：“我早就料到有这一天，所以已派垣崇祖出镇豫州。以垣崇祖的智勇，制服胡虏不在话下。”因此没再调兵遣将，只是拨运粮饷，接济寿阳。
北魏主拓跋弘自从传位给太子后，便居住在崇光宫，不怎么处理朝政。柔然侵犯魏境，拓跋弘因嗣主年幼，只得亲自督军北讨，赶走敌军。接着拓跋弘又南巡西幸，一再外出。而冯太后正值盛年，常居深宫，不免十分寂寞，便与宫内侍卫李奕勾搭起来。尚书李出任相州刺史期间，贪赃枉法，被人揭发，尚书李敷暗中袒护李，想替他掩饰。没想到太上皇拓跋弘竟得知实情，当即下令斩杀李，并罢黜李敷和他的弟弟李奕。李的女婿裴攸替岳父想办法说：“不如揭发李敷兄弟，说不定还能免罪。”李本不想背叛李敷，转念一想，这已是生死攸关的时候了，也顾不得许多了。他便向太上皇揭发李敷的罪状以及李奕的奸情。拓跋弘不禁大怒，当即下令诛杀李敷兄弟，赦免李的死罪，不久，又起用李为尚书。
冯太后见情夫被杀，很是心痛，她竟嘱令身边的亲信往拓跋弘的饮食里下毒。不知情的拓跋弘随即被毒死，年仅二十三岁。魏主拓跋宏追尊父亲为献文帝，庙号显祖。当时是魏主拓跋宏延兴六年，宋主刘昱元徽四年。
拓跋弘死后，冯太后趁魏主年幼，再次执掌朝政，改元太和。魏主拓跋宏尊冯太后为太皇太后，任命冯太后的兄长冯熙为太师中书监。冯熙怕群臣不服，一再推辞，魏主便任命他为洛阳刺史，仍封他为太师。没过多久，重掌朝政的冯氏便瞄上长相俊美的太卜令王睿，令他做了第二个李奕，升任他为尚书。秘书令李冲，也因长相秀美而被冯太后宠幸。
丹阳王刘昶自从投奔北魏，接连受到魏主的恩宠，当得知萧氏篡位的消息时，他立即上奏恳求声讨。冯太后与群臣商议一番，允准了刘昶，令他在江南称王，做北魏的藩属。于是，北魏朝廷发兵数万，号称二十万大军，由梁郡王拓跋嘉统率，和刘昶一道南下。寿阳大震。